半导体核心零部件设备之一EFEM全称介绍

没那么矫情

在日本雅虎查询，
热度比较高的EFEM制造商主要为RORZE，PHT和SINFONIA。
EFEM（设备前端模块）
模块设备配备有大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有 FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。
EFEM主要安装在工艺设备的前面。
EFEMs (Equipment Front End Modules)
Module equipment with an atmospheric transfer wafer robot installed in a frame equipped with an FFU (Fan Filter Unit) and a load port attached to the front. Installed in front of the process equipment.
以上内容参考日本半导体设备协会对EFEM的定义。
在外资企业国产化方面，比如日本PHT旗下PHOENIX在苏州成立的菲科半导体张家港制造基地，以及RORZE在上海临港区2022年10月份建成的组装基地等。
在产品方面，EFEM半导体设备前置模块是最大的细分，市场份额超过75%。在应用方面，应用最多的是300mm的晶圆，市场占有率超过95%，其次是200mm的晶圆。